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                                  如何分辨硅片的等级分类及标准?

                                   2020-07-27    127  

                                  (注:①每家硅片企业的标准都不一样,仅供参考 ,②以下标准针对的硅片厚度为220μm。)

                                  一、优等品

                                  1:硅片表面光滑洁净。

                                  2:TV:220±20μm。

                                  3:几何尺寸:

                                  边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;

                                  边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;

                                  边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。

                                  同心度:任意两个弧的弦长之差≤1mm。

                                  垂直度:任意两边的夹角:90°±0.3。

                                  二、合格品

                                  一级品:

                                  1:表面有少许污渍、轻微线痕。

                                  2:220±20μm ≤TV≤220±30μm。

                                  3:几何尺寸:

                                  边长125±0.5mm;对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm;

                                  边长103±0.5mm、对角135±0.5mm;

                                  边长150±0.5mm、156±0.5mm、对角203±0.5mm、200±0.5mm。

                                  同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.2mm。

                                  垂直度:任意两边的夹角:90°±0.5,cheap radii shoes。

                                  二级品:

                                  1:表面有少许污渍、线痕、凹痕,轻微崩边。

                                  2: 220±30μm ≤TV≤220±40μm。

                                  3:凹痕:硅片表面凹痕之和≤30μm。

                                  4:崩边范围:崩边口不是三角形状,崩边口长度≤1mm,深度≤0.5mm

                                  5:几何尺寸:

                                  边长125±0.52mm;对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;

                                  边长103±0.52mm、对角135±0.52mm;

                                  边长150±0.52mm、156±0.52mm、对角203±0.52mm、200±0.52mm。

                                  同心度:任意两个弧的弦长之差≤1.5mm。

                                  垂直度:任意两边的夹角:90°±0.8。

                                  三级品:

                                  1:表面有油污但硅片颜色不发黑,有线痕和硅落现象。

                                  2:220±40μm ≤TV≤220±60μm。

                                  3:硅落:整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。

                                  三、不合格品

                                  严重线痕、厚薄片:TV>220±60μm。

                                  崩边片:有缺损但可以改Φ103的硅片。

                                  气孔片:硅片中间有穿孔。

                                  外形片:切方滚圆未能磨出的硅片。

                                  倒角片(同心度):任意两个弧的弦长之差>1.5mm。

                                  菱形片(垂直度):任意两边的夹角>90°±0.8。

                                  凹痕片:硅片两面凹痕之和>30μm。

                                  脏片:硅片表面有严重污渍且发黄发黑。

                                  尺寸偏差片:几何尺寸超过二级品的范围。

                                  责任编辑:suna
                                  •  标签:  

                                  原文链接:http://www.powled.com/hangyexinwen/417.html

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